اپنے کلاس-100 کلین روم کو واقعی صاف رکھنا
اگر آپ MEMS سینسر ویفروں کو خشک کر رہے ہیں، تو آپ کو اس مشکل کا اندازہ ہوگا: ویفر پر ایک چھوٹا سا گرد کا ذرہ بھی گر جائے، تو پورا ویفر بیکار ہو جاتا ہے۔ یہ بہت پریشان کن بات ہے۔ مسئلہ یہ ہے کہ زیادہ تر استعمال ہونے والے حرارتی عناصر دراصل گرد کے ذرات پیدا کرنے والے آلات ہیں؛ یہ غیرضروری ذرات کو اس جگہ پیدا کرتے ہیں جہاں ان کی کوئی ضرورت نہیں ہے۔ ہم نے اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے اعلیٰ خالصیت والے سنتھیٹک کوارٹز IR لیمپوں کا استعمال کیا۔ یہ لیمپ کوئی غیرضروری ذرات پیدا نہیں کرتے، اور آپ کی پروڈکشن لائن کو بالکل اسی حالت میں رکھتے ہیں جس حالت میں اسے رکھنا ضروری ہے۔
کوارٹز کی اہمیت
ہم ایک خاص قسم کے کوارٹز کا استعمال کرتے ہیں، تاکہ حرارتی عنصر ویفر کی سطح کو نقصان نہ پہنچا سکے۔ عام شیشہ حرارت کو برداشت نہیں کر سکتا؛ یہ ٹوٹ جاتا ہے، یا گرم ہونے کے دوران ناخواستہ طور پر غیرضروری مرکبات خارج کرتا ہے۔ لیکن ہمارا کوارٹز حرارت کو بغیر کسی مشکل کے برداشت کر سکتا ہے۔ اس کے علاوہ، IR تابکاری ویفر پر موجود مائع فلم کے اندر سے گزر کر اسے بھاپ بنا دیتی ہے۔ کوئی رابطہ نہیں، کوئی رگڑ نہیں… یہی وہ واحد طریقہ ہے جس سے ان نازک MEMS ساختوں کو برقرار رکھا جا سکتا ہے۔
مناسب حرارت حاصل کرنا
ویفر کو چند سیکنڈوں میں خشک کرنے کے لئے، زیادہ حرارت کی ضرورت ہے۔ ہم فلامنٹ کی واٹیج اور وولٹیج کو ایڈجسٹ کرتے ہیں، تاکہ ویفر کے لئے مناسب حرارت حاصل ہو۔ لیکن مسئلہ یہ ہے کہ زیادہ واٹیج والے لیمپوں کے سرے بہت گرم ہو جاتے ہیں۔ اگر کولنگ سسٹم مناسب طریقے سے کام نہ کرے، تو لیمپ ٹوٹ سکتا ہے، یا کوارٹز پر دباؤ پڑ سکتا ہے۔ یہ ایک توازن قائم کرنے کا معاملہ ہے۔
لیمپوں کی دیکھ بھال
ہم نے ان لیمپوں کو ایسے ڈیزائن کیا ہے کہ انہیں آسانی سے تبدیل کیا جا سکے۔ بندش کا وقت بہت نقصان دہ ہے، اس لئے ہم نے اس عمل کو آسان بنا دیا ہے۔ چاہے آپ R7s یا SK کنیکٹر استعمال کر رہے ہوں، لیکن لیمپوں کا فٹنگ بہت اچھا ہے۔ یہ بہت اہم ہے، کیوں کہ کسی بھی قسم کی حرکت سے کنکشن پوائنٹس پر آکسیڈیشن ہو سکتی ہے۔ اپنے لیمپوں کے کام کرنے کے وقت پر نظر رکھیں۔ اگر لیمپ 100% حد تک کام کر رہا ہے، تو وقت کے ساتھ فلامنٹ پتلا ہو جائے گا۔ میں عموماً لوگوں کو مشورہ دیتا ہوں کہ وہ کرنٹ کی مقدار پر نظر رکھیں۔ جب کرنٹ کی مقدار کم ہونے لگے، تو لیمپ کو فوراً تبدیل کر دیں۔ اپنے شیڈول کے مطابق لیمپ تبدیل کرنا، لیمپ کے جلنے یا ویکیوم چیمبر میں رسائی کے مسائل سے بچنے کا بہترین طریقہ ہے۔