لیتھوگرافی کے عمل میں، نرم بیکنگ درجہ حرارت میں آدھے ڈگری کا فرق بھی کرٹیکل ڈائمینشن کو نینومیٹر کی سطح پر تبدیل کر سکتا ہے۔ یہ صرف حرارت کا معاملہ نہیں، بلکہ یہ تو ایک خالص اور سادہ کنٹرول کا عمل ہے۔
سترہوں لیمپس سے آزون پیدا ہوتا ہے، اور یہ آزون فوٹوریزسٹ کی چپکنے کی خصوصیات کو تبدیل کر دیتا ہے، اور ذرات کی تعداد کو بھی غلط سمت میں لے جاتا ہے۔ ہم آزون سے پاک انفراریڈ لیمپس استعمال کرتے ہیں، تاکہ حرارتی سطح وہی رہے جو ہم نے مقرر کی ہے، اور کوئی حیران کن صورتحال پیدا نہ ہو۔
کیا چیزیں اہم ہیں؟
ہم تیز ردِعمل والے شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹرز استعمال کرتے ہیں، تاکہ چند سیکنڈوں میں ہی مستحکم آؤٹ پٹ حاصل کیا جا سکے۔ بیکنگ زون میں، ویفر کی سطح پر یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، اور بار بار عمل کرنے پر بھی نتائج یکساں رہتے ہیں۔
کوارٹز کی ساخت اور کلین روم کے مطابق مواد، کلاس 1–100 کے ماحول کے لئے بنائے گئے ہیں۔ لیمپس چلنے کے دوران کوئی گیس خارج نہیں ہوتی، اور ذرات کی تعداد بھی صفر رہتی ہے۔ پاور ڈینسٹی کو فوٹوریزسٹ کی خصوصیات کے مطابق ایڈجسٹ کیا جاتا ہے، اور اسپیکٹرل آؤٹ پٹ کو عام ریزسٹسٹک مواد کی جذب کرنے کی صلاحیت کے مطابق ڈھالا جاتا ہے – اس طرح حرارتی تاخیر کم ہوتی ہے، اور کناروں پر پیدا ہونے والے مسائل بھی کم ہوتے ہیں۔
فوٹوریزسٹ پروسیسنگ میں اس کی کیا اہمیت ہے؟
نرم بیکنگ سے حل کو نکالا جاتا ہے، اور فلم پر دباؤ پیدا ہوتا ہے۔ ہارڈ بیکنگ سے تصویر کو مستحکم کیا جاتا ہے، تاکہ ایچنگ کے بعد بھی تصویر برقرار رہے۔ آزون سے پاک انفراریڈ لیمپس کی بدولت، لائنوں کی چوڑائی کو بہتر طریقے سے کنٹرول کیا جا سکتا ہے، داغوں کو کم کیا جا سکتا ہے، اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت بھی کم ہو جاتی ہے۔
یہ سسٹم 24/7 مستحکم آؤٹ پٹ کے ساتھ کام کرتا ہے، اور کنویکشن پروسیس کے مقابلے میں کم توانائی استعمال کرتا ہے، کیوں کہ حرارت سیدھے فلم میں جاتی ہے، نہ کہ چیمبر میں۔ اس طرح پروڈکشن کی رفتار بڑھتی ہے، جبکہ مصنوعات کی کوالٹی میں کوئی کمی نہیں آتی۔ لیمپوں کی عمر زیادہ ہوتی ہے، اور مرمت کے اوقات بھی پیش گوئی کے مطابق ہوتے ہیں۔
عملی پہلو؛
لیمپ کا آؤٹ پٹ سیدھا ہوتا ہے، اس لئے انٹیگریشن کی جیومیٹری کو ایسے ہی رکھنا ضروری ہے کہ بیم ویفر کے راستے کے ساتھ ہی رہے۔ ریفلیکٹیو فکسچرز کا استعمال کرکے، غیرضروری حرارت کو دور رکھا جا سکتا ہے۔
جب ٹول بےکار حالت میں ہوتا ہے، تو حرارتی توازن حاصل کرنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہوتا ہے – اپنے بیکنگ پروفائلز کو اس وقت کے حساب سے ہی ترتیب دیں۔ موجودہ سسٹمز کے ساتھ ہم آہنگی آسان ہے، لیکن میکانی فاصلوں اور پاور کنکشنوں کی تصدیق کے لئے اپنی ٹیم سے رابطہ کریں۔