فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے کے دوران، صرف آدھے ڈگری کا فرق بھی اہم پیرامیٹرز کو مطلوبہ حدود سے باہر لے جانے کے لئے کافی ہے۔ ویفر کو خشک کرنے کے عمل میں تاخیر سے عمل کا وقت بڑھ جاتا ہے، اور اس سے سطح پر آلودگی کا خطرہ بھی پیدا ہوتا ہے۔ اسی لئے ہم کلین روم کے لئے خصوصی ہیٹر استعمال کرتے ہیں، تاکہ عمل میں پیدا ہونے والی غیر یقینی صورتحالوں سے بچا جاسکے۔
ہم نے اسے کس طرح ڈیزائن کیا؟
ہم نے اس ہیٹر کو سیمی کنڈکٹر کے درجہ حرارتی تقاضوں کے مطابق ڈیزائن کیا ہے۔ ویفر ٹرے پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھا جاتا ہے، اور اس کی درستگی کو کنٹرول لوپ کے ذریعہ برقرار رکھا جاتا ہے۔ ہیٹنگ عنصر شارٹ-ویو انفراریڈ ہے، اس لئے ردِعمل تیز ہوتا ہے، اور توانائی کی تقسیم بھی یکساں رہتی ہے۔ اس ہیٹر کا خول کلین روم کے ماحول کے لئے مناسب ہے – اس کے جوڑنے کے مقامات بند ہیں، اور کوئی ذرہ باہر نہیں نکلتا۔ یہ ہیٹر معیاری پروسیس ٹرالیوں کے مطابق ہے، اس لئے اسے استعمال کرنے میں کوئی پریشانی نہیں ہوتی۔
یہ کہاں استعمال ہوتا ہے؟
یہ ہیٹر ویفر کو خشک کرنے، فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے، پیکیجنگ عمل، اور صفائی کے بعد ویفر کو خشک کرنے کے عمل میں استعمال ہوتا ہے۔ تیز رفتار استحکام کی وجہ سے، آون یا ہاٹپلیٹ پر ویفر کو زیادہ وقت تک رکھنے کی ضرورت نہیں پڑتی، اور درجہ حرارت کی درستگی برقرار رہتی ہے۔ یکساں درجہ حرارت سے ویفر کی سطح پر موجود نقائص کم ہو جاتے ہیں، اور پیداوار میں اضافہ ہوتا ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ حرارت صرف ضرورت کے وقت ہی فراہم کی جاتی ہے۔ اور یہ ہیٹر 24/7 کام کرتا ہے، اور اس کی دیکھ بھال بھی آسان ہے۔
اہم نوٹس:
ہیٹر کی جگہ بہت اہم ہے۔ ہوا کے بہاؤ کو ٹرے کے ساتھ ہی رکھنا ضروری ہے، تاکہ کلین روم میں ہوا کا بہاؤ برقرار رہے۔ انسٹالیشن کے دوران، ٹرالی کے ریلوں کے درمیانی فاصلے اور کنکٹر کی قسم کو چیک کرنا ضروری ہے؛ چھوٹی سی غلطی بھی عمل میں رکاوٹ پیدا کر سکتی ہے۔ یہ ہیٹر 22±2°C اور 45±5% RH کے ماحول میں بھی درست طریقے سے کام کرتا ہے؛ اگر یہ حدود سے باہر چلا جائے، تو درجہ حرارت کنٹرول کرنا مشکل ہو جاتا ہے۔