ڈیپ یو وی (DUV) ریزسٹ بیک لیمپ

Fri, 26 Jun 2026 05:13:33 +0800

لیتھوگرافی کے عمل میں، تیزی سے سیکھا جاسکتا ہے؛ چاہے یہ نرم بیکنگ ہو یا سخت بیکنگ، اگر اس میں تھوڑی سی بھی تبدیلی ہو جائے، تو اس کے نتیجے میں پروڈکشن پر منفی اثرات پڑتے ہیں۔ آدھے ڈگری کی بھی تبدیلی سے کرٹیکل ڈائمینشن متأثر ہو سکتی ہے، اور چھوٹے ذرات کی وجہ سے ایک اچھا ویفر بھی بیکار ہو سکتا ہے۔ DUV ریزسٹ بیکنگ لیمپ، اس قسم کے خطرات کو دور کرنے میں مدد کرتا ہے۔

ڈرائی فلم ریزسٹ لیمینیٹنگ ہیٹر

Thu, 25 Jun 2026 04:54:44 +0800

لیتھوگرافی کے عمل میں، لیمینیٹنگ ہیٹر صرف حرارت فراہم کرنے کا کام نہیں کرتا؛ بلکہ یہ پورے فوٹوریزسٹ سسٹم کے لئے حرارتی توازن قائم کرنے میں بھی اہم کردار ادا کرتا ہے۔ اگر سافٹ بیک کے دوران درجہ حرارت میں 0.5°C کا فرق پیدا ہو جائے، تو اس سے وسکوسٹی، کناروں کی ساخت، اور کریٹیکل ڈائمینشن کنٹرول متاثر ہوتا ہے۔ جب ضرورت اس بات کی ہو کہ سبسٹریٹ پر درجہ حرارت ≤±0.1°C کے اندر رہے، تو یہ لیمینیٹنگ ہیٹر صرف ایک ذیلی آلہ نہیں، بلکہ پورے عمل کا بنیادی حصہ ہے۔

Resist on Focused IR Heating Beams

ڈیپ یو وی (DUV) ریزسٹ بیک لیمپ

ڈرائی فلم ریزسٹ لیمینیٹنگ ہیٹر