Trong quy trình sản xuất, sự biến đổi nhiệt độ trong lò nướng không gây ra bất kỳ cảnh báo nào; thay vào đó, nó dẫn đến những vấn đề như sự thay đổi độ dày của lớp phim bảo vệ, các vấn đề liên quan đến khả năng bám dính của lớp phim này, và tỷ lệ sản phẩm đạt tiêu chuẩn cũng giảm dần theo thời gian. Khi lò nướng hoặc mô-đun chiếu sáng không hoạt động đúng chức năng, độ ổn định của lớp phim bảo vệ sẽ bị ảnh hưởng, và khả năng lựa chọn vị trí tẩy rửa lớp phim cũng bị suy giảm. Độ ổn định nhiệt là yếu tố không thể thương lượng được; bạn phải kiểm soát nó, nếu không quy trình sản xuất sẽ bị ảnh hưởng.
Những điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng các mô-đun nhiệt dự phòng có bộ phận gia nhiệt có khả năng kiểm soát nhiệt độ tốt, cùng với các bóng đèn có bước sóng phù hợp. Điều này giúp đảm bảo độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt wafer ở mức ±0,1°C. Điều này rất quan trọng vì quá trình nung ấm giúp điều chỉnh độ nhớt của lớp phim bảo vệ và loại bỏ chất dung môi, trong khi quá trình nung khô giúp cải thiện khả năng bám dính của lớp phim và khả năng chống lại quá trình tẩy rửa. Độ đồng đều cao giúp giảm thiểu các vấn đề liên quan đến sự phản xạ ánh sáng, đồng thời giúp kiểm soát chính xác kích thước của các chi tiết sản phẩm. Cấu trúc của các mô-đun này giúp giảm thiểu sự hình thành các hạt bụi, từ đó đảm bảo môi trường làm việc sạch sẽ trong phòng sản xuất loại 1–100. Khả năng lặp lại quy trình cũng được đảm bảo nhờ vào cấu trúc của các mô-đun này, giúp quy trình in ấn và tẩy rửa diễn ra trong phạm vi cho phép.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong thực tế
Trong các nhà máy sản xuất với nhiều loại sản phẩm khác nhau, nguồn nhiệt có hạn. Các mô-đun dự phòng này giúp ổn định nhiệt độ trong quá trình nung, giúp duy trì độ ổn định của quá trình nung ấm và nung khô. Kết quả là số lượng sản phẩm cần sửa chữa giảm, lượng phế phẩm giảm, và thời gian sản xuất có thể được lên kế hoạch chính xác hơn. Mức tiêu thụ năng lượng cũng được giảm bớt mà vẫn đảm bảo độ chính xác trong quá trình nung. Các mô-đun này được thiết kế để hoạt động 24/7, với khoảng thời gian bảo trì dự đoán được – nhờ đó giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động không mong muốn.
Những điều cần lưu ý
Các mô-đun dự phòng này có thể được tích hợp vào các thiết bị của các nhà sản xuất chính, nhưng độ chính xác trong việc tích hợp sẽ phụ thuộc vào thiết kế của buồng sản xuất, hệ thống thông gió, và vị trí của các cảm biến đo nhiệt độ. Bạn cần tiến hành kiểm tra ngắn gọn trước khi sử dụng chúng: kiểm tra mức nhiệt độ cần đạt được trên bề mặt wafer, kiểm tra hành vi của các hạt bụi trong buồng sản xuất, và xác định chính xác quy trình nung trước khi áp dụng chúng. Việc calibrat công tắc đo nhiệt độ cũng rất quan trọng. Ngay cả một sự chênh lệch nhỏ cũng có thể khiến quá trình sản xuất không đạt tiêu chuẩn.