Đưa nhiệt lượng đến đúng nơi cần thiết
Khi làm nóng các tấm wafer trong quy trình chế tạo chất bán dẫn, việc chỉ tăng mức công suất không phải là giải pháp hiệu quả. Bất kỳ ai cũng có thể cung cấp năng lượng cho hệ thống, nhưng điều quan trọng là phải kiểm soát được hướng truyền nhiệt.
Nếu năng lượng hồng ngoại lan ra khỏi vùng cần được làm nóng, thì bạn chỉ đang lãng phí điện năng và khiến các bộ phận của thiết bị bị nóng lên một cách không cần thiết. Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các bộ phản xạ được phủ bằng vàng. Chúng giúp tập trung năng lượng vào đúng vị trí cần thiết.
Tại sao lại chọn vàng?
Hãy nghĩ về chiếc đèn thạch anh thông thường: nó phát ra bức xạ ở mọi hướng. Trong một thiết bị có không gian hạn chế, điều này sẽ dẫn đến tình trạng quá nhiệt ở các linh kiện xung quanh.
Chúng ta sử dụng lớp vàng mỏng trên bề mặt bộ phản xạ vì vàng có khả năng phản xạ năng lượng hồng ngoại tốt hơn so với nhôm hay thép được mài nhẵn. Nhờ đó, nhiệt lượng được tập trung vào một điểm cụ thể.
Kết quả là mỗi watt năng lượng được cung cấp đều tác động trực tiếp lên tấm wafer. Điều này rất hiệu quả. Rất đơn giản thôi.
Việc cân bằng nhiệt lượng
Mọi thứ đều liên quan đến mật độ năng lượng. Bằng cách điều chỉnh hình dạng của bộ phản xạ và sử dụng lớp vàng, chúng ta có thể tập trung dòng nhiệt vào một điểm cụ thể.
Điều này giúp việc tăng nhiệt độ diễn ra nhanh hơn. Trong ngành này, tốc độ phản ứng nhiệt độ chính là yếu tố quyết định liệu quy trình sản xuất có diễn ra ổn định hay không.
Nhưng bạn không thể ép hệ thống hoạt động ở mức tối đa được.
Bức xạ có mật độ cao sẽ gây áp lực lớn lên các bộ phận của đèn. Nếu bạn cố gắng rút ngắn thời gian hoạt động của đèn bằng cách tăng công suất quá mức, bạn sẽ làm hỏng sợi dây tóc của đèn hoặc làm biến dạng bộ phản xạ. Bạn cũng cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát có thể xử lý được lượng nhiệt không thể truyền đến tấm wafer.
Duy trì hoạt động ổn định
Chúng tôi thiết kế các bộ sưởi này sao cho chúng có thể thay thế dễ dàng cho các bộ sưởi hiện có, mà không gây ra bất kỳ vấn đề gì.
Tuy nhiên, cần lưu ý rằng vàng rất kén chọn. Nếu dầu mỡ hoặc hóa chất dính vào lớp vàng, khả năng phản xạ năng lượng của nó sẽ giảm sút. Lúc đó, nhiệt lượng sẽ được phân bố một cách lộn xộn. Chúng tôi rất coi trọng việc vệ sinh các bộ phận này một cách kỹ lưỡng. Hãy giữ cho lớp vàng luôn sạch sẽ; nếu không, bạn sẽ gặp phải tình trạng có những vùng lạnh trên tấm wafer, và đó là vấn đề mà bạn không muốn gặp phải trong quá trình sản xuất.