Trên sàn sản xuất, hiện tượng trôi nhiệt trong xử lý nhiệt nhanh làm tiêu hao ngân sách nhiệt, và cấu hình photoresist bắt đầu bị sập. Độ đồng đều ở...

Trên sàn lithography, sự trôi lệch 1°C trong quá trình nướng mềm hoặc nướng cứng không phải là một “lỗi nhỏ.” Đó là một tác động đến năng suất, đơn...