Lò sưởi bằng tia hồng ngoại trong buồng chân không

Thu, 16 Jul 2026 02:37:37 +0800

Ngừng việc làm nóng các bức tường của buồng chân không
Khi bạn muốn làm nóng một tấm wafer hoặc vật liệu cần xử lý bên trong buồng chân không, bạn muốn năng lượng được chuyển trực tiếp đến vật liệu đó. Nhưng vấn đề là hầu hết các hệ thống hiện nay đều gặp phải tình trạng “nhiệt tồn đọng”. Thay vì chiếu trực tiếp vào vật liệu cần xử lý, bức xạ hồng ngoại lại bị phản xạ khắp nơi và tích tụ trong các bức tường của buồng chân không. Điều này không chỉ lãng phí năng lượng mà còn khiến bề mặt thiết bị trở nên quá nóng. Không ai muốn sử dụng một chiếc máy khiến người vận hành bị bỏng chỉ vì chạm vào vỏ máy cả.

Lò sưởi hồng ngoại tương thích với môi trường chân không

Sun, 12 Jul 2026 10:02:59 +0800

Điều chỉnh nhiệt độ một cách chính xác trong các hệ thống hồng ngoại khí chân không
Khi sản xuất chất bán dẫn, bạn cần một lượng nhiệt rất lớn. Nhưng bạn cũng không thể để cho wafer bị ô nhiễm bởi bất kỳ tạp chất nào. Các loại bộ sưởi điện thông thường thì không thể đáp ứng được yêu cầu này.

Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các bóng đèn hồng ngoại phù hợp với môi trường khí chân không. Thay vì sử dụng một chất trung gian để truyền nhiệt, những bóng đèn này truyền năng lượng trực tiếp đến vật liệu cần được gia nhiệt thông qua bức xạ. Đây là cách hiệu quả hơn nhiều. Hơn nữa, điều này cũng giúp giảm thiểu việc lãng phí năng lượng vào những thứ không cần được gia nhiệt.

Chân Không on Focused IR Heating Beams

Lò sưởi bằng tia hồng ngoại trong buồng chân không

Lò sưởi hồng ngoại tương thích với môi trường chân không