http://ir-heat-beam.com/vi/tags/mems-h%E1%BB%87-th%E1%BB%91ng-c%C6%A1-%C4%91i%E1%BB%87n-t%E1%BB%AD-vi-m%C3%B4/ Recent content in MEMS (Hệ Thống Cơ Điện Tử Vi Mô) on Focused IR Heating Beams Hugo vi Sun, 07 Jun 2026 03:57:08 +0800 http://ir-heat-beam.com/vi/posts/mems-wafer-drying-heater/ Sun, 07 Jun 2026 03:57:08 +0800 http://ir-heat-beam.com/vi/posts/mems-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Bộ gia nhiệt làm khô tấm wafer MEMS"></p> <p>Trở lại dây chuyền, một tấm wafer MEMS ướt vừa ra khỏi quy trình làm sạch và đang chờ đợi. Điểm dừng tiếp theo - phủ <a href="https://goldisgood.com">photoresist</a>, nướng mềm, và làm sạch khô - có độ dung sai nhiệt độ bằng không. Khi bề mặt bị tác động bởi một vùng nóng 1°C, việc kiểm soát chiều rộng đường dẫn trở thành một trò may rủi. Chúng tôi đã chế tạo bộ gia nhiệt làm khô wafer MEMS này để loại bỏ sự không chắc chắn đó trước khi nó vào trong chuỗi lithography.</p>