Máy sưởi dùng trong phòng sạch công nghệ bán dẫn

Trong quá trình nung phim chống chiếu, chỉ cần có sự sai lệch 0,5 độ thôi cũng đủ khiến các kích thước quan trọng của wafer không còn nằm trong giới...