http://ir-heat-beam.com/zh/tags/%E5%AE%89%E5%85%A8/ Recent content in 安全 on Focused IR Heating Beams Hugo zh Sat, 20 Jun 2026 06:00:51 +0800 http://ir-heat-beam.com/zh/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Sat, 20 Jun 2026 06:00:51 +0800 http://ir-heat-beam.com/zh/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="晶圆加热的安全距离"></p> <p>在光刻加工过程中，围绕晶圆加热区域设定的安全距离并非所谓的“舒适区”，而是一个必须严格遵守的工艺边界。如果距离太近，就会导致热干扰、光阻层形状变形以及颗粒问题。而如果距离太远，那么加热效果就不够好，从而导致CD均匀性超出标准范围。因此，我们设计了专门的加热平台，以确保这一距离得到精确控制，从而使热量控制在光阻层的允许范围内。</p>