http://ir-heat-beam.com/zh/tags/%E6%B4%81%E5%87%80%E5%AE%A4/ Recent content in 洁净室 on 定向 IR加热 光束 Hugo zh Wed, 02 Sep 2026 20:13:29 +0800 http://ir-heat-beam.com/zh/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-with-high-purity-quartz-ir-lamps/ Wed, 02 Sep 2026 20:13:29 +0800 http://ir-heat-beam.com/zh/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-with-high-purity-quartz-ir-lamps/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="利用高纯度石英红外灯实现MEMS晶圆干燥时的零污染加热"></p> <h2 id="如何保持100级洁净室的清洁状态">如何保持100级洁净室的清洁状态</h2> <p>如果你们需要干燥MEMS传感器晶圆，那么你们肯定知道其中存在的麻烦：哪怕有一粒微小的灰尘落在晶圆上，整个晶圆就报废了。这真是令人沮丧。 问题在于，大多数普通加热元件实际上都是“尘埃制造机”——它们会释放出大量微小颗粒，而这些颗粒往往出现在我们不希望出现的地点。为了解决这个问题，我们改用了高纯度的合成石英红外灯。这种灯不会释放任何颗粒物，也不会泄漏金属杂质，从而确保生产线始终处于理想的状态。</p>