http://ir-heat-beam.com/zh/tags/%E8%87%AD%E6%B0%A7/ Recent content in 臭氧 on Focused IR Heating Beams Hugo zh Mon, 29 Jun 2026 07:16:59 +0800 http://ir-heat-beam.com/zh/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Mon, 29 Jun 2026 07:16:59 +0800 http://ir-heat-beam.com/zh/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="无臭氧红外灯"></p> <p>在光刻工序中，即使软烘烤温度出现半度的变化，也足以导致关键尺寸出现纳米级的偏差。这并非单纯的热量问题，而是一种需要精确控制<a href="https://goldisgood.com">的工艺环节</a>。</p> <p><a href="https://o-yate.com">普通灯管会</a>产生臭氧，而臭氧会改变光阻的附着力，同时还会增加颗粒物含量。我们使用无臭氧的红外灯管，这样就能确保温度始终处于设定值范围内，不会出现意外情况。</p> <p><strong>核心技术要点</strong><br> 我们使用响应速度快的短波红外发射器，能够在几秒钟内实现稳定的输出。在整个烘烤区域内，晶圆的温控精度可保持在±0.1°C之间，且不同批次之间的重复性也非常好。</p>