http://ir-heat-beam.com/zh/tags/%E8%BF%91%E7%BA%A2%E5%A4%96/ Recent content in 近红外 on Focused IR Heating Beams Hugo zh Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800 http://ir-heat-beam.com/zh/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800 http://ir-heat-beam.com/zh/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="近红外光晶圆干燥机"></p> <p>在300毫米光刻生产线中，光刻胶的烘烤过程并非单纯的加热步骤，而是一种确保尺寸精度的关键环节。如果软烘或硬烘过程中的温度偏差超过±0.1摄氏度，那么产品的尺寸控制就会受到影响。传统的加热板难以保证晶圆各部位的温度一致性，而对流式烤箱则可能导致空气中的杂质进入晶圆表面。在1级到100级的洁净室中，微粒的产生以及非计划性的停机时间带来的损失可不是几分钟那么简单——它们会导致整个生产批次报废。</p>