300mm লাইনে 15 সেকেন্ডের নরম বেক যা 2°C জায়গা পরিবর্তন করে, তা রেজিস্টের লাইনের প্রস্থের পরিবর্তন হিসেবে প্রতিফলিত হবে। এক্সপোজারের জন্য আপনার কাছে একটাই সুযোগ আছে। আমরা দ্রুত প্রতিক্রিয়া সহ ইনফ্রারেড হিটার বাল্ব তৈরি করেছি যাতে তাপমাত্রার বাজেট সাইকেল বাই সাইকেল ভিতরের সীমার মধ্যে থাকে।
কি গুরুত্বপূর্ণ
আমরা কোয়ার্টজ এনভেলপের ভিতরে শর্ট-ওয়েভ হ্যালোজেন উপাদানগুলি ব্যবহার করি—যা দ্রুত রেডিয়েন্ট প্রতিক্রিয়া এবং স্থায়ী এমিসিভিটির জন্য নির্বাচিত হয়েছে। প্রতিক্রিয়া সময় 200ms এর নিচে এবং তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ ওয়েফার পৃষ্ঠে ±0.1°C ধরে রাখে। ডিজাইনটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে কাজ করে যেখানে শূন্য কণা উৎপন্ন হয়, এবং আউটপুট 5,000+ ঘণ্টা ধরে 5% এর কম অবনতি সহ পুনরাবৃত্তিযোগ্য থাকে।
এটি ফটো রেজিস্ট প্রক্রিয়াকরণের জন্য কেন কাজ করে
নরম বেক, হার্ড বেক, প্রোক্সিমিটি বেক—তাপমাত্রার সমতা হল যা CD সমতা এবং ত্রুটি ঘনত্বকে চালিত করে। দ্রুত প্রতিক্রিয়া স্থিতিশীলতা জানালাটি সংকুচিত করে, তাই আপনি সমতা ত্যাগ না করে অলস সময় কমাতে পারেন। এর ফলস্বরূপ উচ্চতর থ্রুপুট, সংকীর্ণ প্রক্রিয়া জানালা এবং কম স্ক্র্যাপ ওয়েফার। শক্তি ব্যবহারের পরিমাণও কমে যায়, কারণ তাপ চাহিদা অনুযায়ী সরবরাহ করা হয়, সঞ্চিত হয় না।
আপনাকে যা দেখতে হবে
স্থাপন সহনশীলতা কঠিন। বাল্বটি রিফ্লেক্টরের জ্যামিতি এবং লক্ষ্য দূরত্বের সাথে সঠিকভাবে সজ্জিত হতে হবে—অন্যথায় আপনি গরম স্পট এবং সমতা স্থানান্তর পাবেন। পরিবর্তনের আগে, টুলের সকেট, ভোল্টেজ এবং মাউন্টিং হার্ডওয়্যার যাচাই করুন। আমরা মানক ইন্টারফেস সমর্থন করি, তবে পুরানো বেক প্লেটগুলির জন্য কাস্টম ফিক্সচার প্রয়োজন হতে পারে। পারফরম্যান্স যেখানে থাকা উচিত তা বজায় রাখতে প্রতি 2,000 ঘণ্টা রিফ্লেক্টরটি পরিদর্শন করার পরিকল্পনা করুন।