Na lince pro 300mm plátky se změna soft bake o 2°C během 15 sekund projeví jako odchylka šířky čáry ve vrstvě resistu. Expozici lze provést pouze jednou. Vyvinuli jsme infračervenou žárovku s rychlou odezvou, která udržuje tepelný rozpočet v přípustném rozsahu cyklus za cyklem.
Co je důležité pod povrchem
Používáme krátkovlnné halogenové elementy uvnitř křemenných obalů – zvolené pro rychlou radiativní odezvu a stabilní emisivitu. Doba odezvy je pod 200 ms a řízení teploty drží ±0,1°C přes celou plochu plátku. Konstrukce je určena do čistých prostor třídy 1–100 bez generování částic a výkon zůstává opakovatelný po dobu více než 5 000 hodin se zhoršením menším než 5 %.
Proč to funguje při zpracování fotorezistu
Soft bake, hard bake, proximity baking – teplotní uniformita je klíčovým faktorem pro uniformitu rozměrů (CD) a hustotu defektů. Rychlá odezva zkracuje čas potřebný ke stabilizaci, což umožňuje snížit nečinné doby bez kompromisů v uniformitě. Výsledkem je vyšší propustnost, užší procesní okna a méně vadných plátků. Spotřeba energie také klesá, jelikož teplo se dodává na vyžádání, nikoli ukládá.
Na co si dát pozor
Montážní tolerance jsou přísné. Žárovka musí být přesně nastavena vůči geometrii reflektoru a požadované vzdálenosti – jinak vznikají horká místa a posuny v uniformitě. Před výměnou ověřte patici, napětí a montážní hardware nástroje. Podporujeme standardní rozhraní, ale u starších pečicích desek může být nutné použít speciální přípravky. Plánujte kontrolu reflektoru každých 2 000 hodin, aby byla zachována požadovaná výkonnost.