V prostoru určeném k litografii není ta bezpečná vzdálenost kolem ohřívacích zařízení nějakou „komfortní zónou“ – jedná se o hranici procesu. Pokud...

V řadě 300 mm není sušení fotorezistu jen dalším tepelným krokem. Jde o záruku přesnosti rozměrů. I nepatrné odchylky o několik desetin stupně Celsia...