V řadě 300 mm není sušení fotorezistu jen dalším tepelným krokem. Jde o záruku přesnosti rozměrů. I nepatrné odchylky o několik desetin stupně Celsia mohou zničit kontrolu kritických rozměrů. Konvenční varné desky mají problémy s opakovatelností v pracovní oblasti čipu, zatímco konvekční pece přinášejí do procesu nežádoucí kontaminaci. V čisté místnosti třídy 1–100 neznamenají tvorba částic a neočekávané přerušení provozu jen chvíle – stojí vás celé série výrobků.
Co je důležité uvnitř
Vysušovač čipů na bázi Near-Infrared záření funguje pomocí přímého, objemového ohřevu bez jakéhokoliv proudění vzduchu. Výsledkem je rovnoměrnost teploty na úrovni čipu v rozmezí ±0,1 °C po celém průběhu procesu. Teplota fotorezistu se rychle dostane na stanovenou hodnotu. Bez pohybujícího se vzduchu nemůže dojít k vzniku částic. Komora je statická a完全 uzavřená, takže jediné, co se dotýká čipu, je samotný čip.
Systém je navržen pro nepřetržitý provoz 24/7 – komponenty jsou určeny pro kontinuální provoz a tepelná architektura zajišťuje opakovatelnost po tisíce cyklů. Kompatibilita s čistými místnostmi je součástí konstrukce, nikoli dodatečným prvkem. Je mechanicky hermeticky uzavřený, chemicky kompatibilní a je ověřený tak, aby počet částic zůstal na minimální úrovni.
Proč je to důležité v litografii
V litografii je rovnoměrnost sušení klíčová pro stabilitu a výkon procesu. Vysušovač na bázi Near-Infrared snižuje dobu potřebnou k dosažení požadované teploty, omezuje tepelné ztráty a odstraňuje variabilitu spojenou s stratifikací v troubě nebo ztrátami na okrajích varných desek. Díky tomu máte lepší rozložení teplot během sušení, méně oprav a předvídatelnější výkon procesu.
Spotřeba energie klesá, protože energie jde přímo do čipu, a ne do ohřevu vzduchu nebo velkých zařízení. Intervaly údržby se prodlužují, protože je méně opotřebovatelných součástí. A pracovní okna se rozšiřují, protože opakovatelnost teplot již není problémem.
Na co si musíte dát pozor
Vysušovač na bázi Near-Infrared potřebuje přímý výhled na povrch čipu, proto musí být uspořádání zařízení takové, aby optická cesta v komoře zůstala volná. Při integraci do existujících systémů je potřeba věnovat pozornost mechanické konstrukci a komunikačním protokolům – poskytneme specifikace rozhraní již v počáteční fázi, abyste se vyhnuli problémům během integrace.
Při počáteční kalibraci očekávejte krátké období termického zahřívání potřebné k nastavení parametrů procesu. Jakmile je proces nastaven, bude fungovat stabilně, opakovaně a konzistentně – den za dnem, sérii za sérií.