Zastavení problémů: Jak se vypořádat s kontaminací částicemi při použití lamp UHP
V zařízeních s vysokým výkonem je selhání lampy opravdu katastrofou – není to jen nepříjemnost nebo krátkodobá porucha. Když praskne křemíková trubice, přestane fungovat, ale zároveň rozmetá střepy skla a částice po povrchu waferu. Výsledkem je ztráta produktivity a nutnost důkladného čištění celé komory. Je to noční můra.
Jak zabránit selhání lampy
Naše lampy UHP jsou navrženy tak, aby odolaly velkým nárazům. Termické cykly jsou totiž extrémně náročné, proto používáme syntetický křemen vysoké čistoty. Používáme také speciální halogenový cyklus – díky němu se zabrání odpařování wolframu a ztmavování stěn trubice. Když zůstanou stěny čisté, teplo se rovnoměrně distribuuje. Nevznikají „horká místa“, žádné abnormální napětí – a co je nejdůležitější – žádné praskliny.
Ale ne spoléháme se pouze na pevnost skla. Používáme dvojitou ochranu – lampa je umístěna uvnitř vysoce kvalitní křemíkové obálky. Pokud praskne vnitřní vlákno, vnější obálka zachytí všechny úlomky. Váš silikon tak zůstane čistý.
Jak se vypořádat s horkem
Lampy s vysokým výkonem vydávají obrovské množství tepla. Pokud chladicí systém nedokáže zajistit dostatečné chlazení, konce lampy se přehřejí. Právě tehdy selhávají těsnění. Abychom tomu zabránili, posílili jsme těsnění na koncích lampy, aby plyny zůstaly na svém místě.
Jedna rychlá rada: dbejte na pomalu se měnící teplotu. Pokud teplotu měníte příliš rychle, vytváříte velké mechanické napětí na křemíku. Použijte přesnou kontrolu PID a zpomalte proces. Vaše lampy vydrží mnohem déle.
Instalace lampy
Tyto lampy lze jednoduše nahradit běžnými lampami UHP. Není potřeba žádných složitostí. Používáme precizně vyrobené konektory – důležitá je totiž dokonalá elektrická spojitost. Pokud je spojení volné, dochází k vzniku výbojů, což rychle ničí životnost lampy. Také sledujte napětí – pokud prudce kolísá, hrozí prasknutí vlákna. Udržujte napětí stabilní a ušetříte si spoustu času při výměně lamp.