Na lince stačí půl stupně odchylky během zahřívání fotoresistu k tomu, aby kritické rozměry vyšly mimo specifikace. Pomalé sušení polovodičových desek prodlužuje dobu cyklu a otevírá cestu ke kontaminaci povrchu. Proto používáme topič na vozíku určeném pro čisté prostory – aby se eliminovaly výkyvy v průběhu procesu.
Na čem je tento topič založen
Topič byl navržen tak, aby fungoval v rámci termálních parametrů polovodičových desek. Na celé ploše desky udržujeme rovnost teploty na úrovni ±0,1 °C. Opakovatelnost je zajištěna kalibrovaným řídicím okruhem, který sleduje nastavenou teplotu s minimálními odchylkami. Topný prvek pracuje v oblasti krátkovlnného infračerveného záření, takže reakce je rychlá a rozdělení tepla je rovnoměrné. Kabelový plášť je vhodný pro použití v čistých prostorách – mají uzavřené spoje a neuvolňují žádné částice – pro prostředí tříd 1–100. Napájecí napětí a velikost odpovídají standardním vozíkům, takže integrace není problém.
Kde se tento topič osvědčuje
Tento topič se hodí pro situace, ve kterých potřebujete odpovídající termální podmínky: sušení polovodičových desek, zahřívání fotoresistu, vytvrzování obalových materiálů a sušení po čištění. Rychlá stabilizace teploty umožňuje kratší dobu zahřívání bez ztráty kvality. Vysoká rovnost teploty snižuje vady na okrajích desek a zvyšuje celkovou výtěžnost. Spotřeba energie klesá, protože teplo je poskytováno na požadavek, nikoli z velké komory. Skutečným ukazatelem je dostupnost zařízení – tyto jednotky fungují 24/7 s možností plánování údržby.
Důležité poznámky
Je důležité správné umístění topiče – proud vzduchu by měl směřovat spolu s deskou a mělo by být dostatek prostoru pro recirkulaci vzduchu v čistém prostoru, aby nevznikaly lokální turbulence. Při instalaci je potřeba zkontrolovat vzdálenosti mezi kolejnicemi vozíku a typ konektorů – i malé odchylky mohou zpomalit změnu procesů. Topič vydrží v normálních podmínkách 22±2 °C a 45±5 % relativní vlhkosti; mimo tyto hodnoty se termální kontrola zhoršuje.