Lassen Sie nicht zu, dass eine kaputte Lampe Ihre gesamte Charge zerstört – halten Sie die MEMS-Wafer sauber! In einer Anlage mit hoher...

Zurück in der Linie verlässt ein nasses MEMS-Wafer die Reinigung und steht wartend bereit. Die nächste Station – Fotoresist-Beschichtung, Softbake...