در خط تولید ۳۰۰ میلیمتری، فرآیند گرم کردن فوتورزیست نه تنها یک مرحله حرارتی ساده است، بلکه تأثیر زیادی بر کنترل ابعاد محصول دارد. اگر دمای فوتورزیست در حین فرآیندهای گرم کردن، حتی کمی از محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد خارج شود، کنترل ابعاد محصول از بین خواهد رفت. اجاقهای معمولی، تکرارپذیری عملیات روی سطح ویفر را مختل میکنند؛ همچنین، فرهای هوایی باعث ورود ذرات آلاینده به محیط تولید میشوند. در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱-۱۰۰، تولید ذرات و توقفهای غیرمنتظره، هزینههای زیادی را به همراه دارند.
موارد مهم در این فرآیند
ما دستگاه خشککن ویفر NIR را بر اساس تابش نزدیک به مادون قرمز طراحی کردهایم؛ این روش، گرمایش مستقیم و بدون وجود جریان هوا را فراهم میکند. نتیجه این است که یکنواختی دمای ویفر در طول کل فرآیند، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ همچنین، دمای فوتورزیست نیز در عرض چند ثانیه به مقدار مورد نظر میرسد. عدم وجود جریان هوا، به معنای عدم وجود ذرات است. اتاق تولید کاملاً بسته است؛ بنابراین تنها چیزی که با ویفر در تماس است، خود ویفر است.
این سیستم برای کار ۲۴ ساعته طراحی شده است؛ قطعات آن برای عملکرد مداوم مناسب هستند، و ساختار حرارتی آن، تکرارپذیری عملیات را در هزاران چرخه حفظ میکند. سازگاری این دستگاه با اتاقهای پاکسازی نیز در طراحی آن لحاظ شده است؛ این دستگاه از نظر مکانیکی محکم بسته شده است و از نظر شیمیایی نیز سازگار است؛ همچنین، تعداد ذرات در آن در سطح پایینی نگه داشته میشود.
چرا این روش در فرآیند لیتوگرافی مفید است
در فرآیند لیتوگرافی، یکنواختی دما، عاملی است که بر پایداری و بازدهی فرآیند تأثیر میگذارد. دستگاه خشککن NIR، زمان گرم شدن ویفر را کاهش میدهد، هزینههای حرارتی را کم میکند، و تغییرات ناشی از تفاوت دما در نقاط مختلف ویفر را از بین میبرد. در نتیجه، توزیع دما در حین فرآیندهای گرم کردن بهتر میشود، تعداد بازسازیها کاهش مییابد، و عملکرد فرآیند قابل پیشبینیتر میشود.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا انرژی مستقیماً به ویفر منتقل میشود، نه به هوا یا قطعات دیگر. همچنین، زمان تعمیرات نیز کاهش مییابد؛ زیرا تعداد قطعات متحرک کمتر است. علاوه بر این، فرآیند تولید نیز گستردهتر میشود؛ زیرا یکنواختی دما دیگر مانعی برای فرآیند تولید نیست.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید
دستگاه NIR نیاز به دید مستقیم به سطح ویفر دارد؛ بنابراین، طراحی دستگاه باید مسیر نوری را درون اتاق تولید باز نگه دارد. هنگام ادغام این دستگاه در سیستمهای موجود، باید به جنبههای مکانیکی و پروتکلهای ارتباطی توجه کرد؛ ما مشخصات ارتباطی لازم را از همان ابتدا فراهم میکنیم تا در هنگام ادغام دستگاه، مشکلی پیش نیاید.
در مرحله اولیه، انتظار داشته باشید که دستگاه برای تنظیم پارامترهای فوتورزیست، مدت کوتاهی نیاز به گرم شدن داشته باشد. پس از تنظیمات لازم، فرآیند تولید به صورت یکنواخت و پایدار انجام خواهد شد؛ روز به روز، و لот به لот.