خشککن ویفر نور مادون قرمز نزدیک (NIR)
در خط تولید ۳۰۰ میلیمتری، فرآیند گرم کردن فوتورزیست نه تنها یک مرحله حرارتی ساده است، بلکه تأثیر زیادی بر کنترل ابعاد محصول دارد. اگر دمای فوتورزیست...
لامپ خشککن ویفر DNS (صفحه)
در طبقه لیتوگرافی، یک تغییر دما به اندازه ۱ درجه سانتیگراد در پخت نرم یا پخت سخت یک «اشتباه کوچک» نیست. این یک ضربه به بهرهوری است، ساده و واضح....