چرا از روش گرمایش هوای داغ به جای روش گرمایش مادون قرمز در کارخانههای تولید تراشه استفاده میکنیم؟ فکر کنید که یک فر معمولی چگونه کار میکند: ابتدا هوا گرم میشود، و سپس آن هوا، ویفرها را گرم میکند. این روش بسیار آهسته است؛ همچنین، فرصت زمانی زیادی لازم است تا دمای محیط مناسب شود. در کارخانههای تولید تراشه، این انتظارات طولانی میتواند مشکلات زیادی ایجاد کند. به همین دلیل، ما شروع به استفاده از روش گرمایش مادون قرمز کردهایم؛ این روش نیازی به استفاده از هوا برای انتقال گرما ندارد. از امواج الکترومغناطیسی برای گرم کردن سطح ویفرها استفاده میشود. دیگر نیازی نیست منتظر گرم شدن کل محیط باشیم؛ این روش تقریباً فوری است. هنگام برنامهریزی برای یک سیستم، تنها چیزی که اهمیت دارد، زمان لازم برای رسیدن به دمای مطلوب است. یک فر معمولی ممکن است ۲۰ دقیقه طول بکشد تا به حالت پایدار برسد؛ اما روش مادون قرمز، چند ثانیه طول میکشد تا به هدف برسد. وقتی که دیگر نیازی به انتظار برای گرم شدن محیط نیست، میتوانیم تعداد بیشتری ویفر را در هر شیفت پردازش کنیم. جنبههای فیزیکی سیستم ما از فولاد ضدزنگ با کیفیت بالا برای ساخت بدنههای این سیستمها استفاده میکنیم؛ زیرا فشار حرارتی در این سیستمها بسیار زیاد است. اما بدنههای این سیستمها نقشی فراتر از نگه داشتن لامپها دارند؛ آنها مانند آینه عمل کرده و فوتونهای اضافی را دوباره به سمت ویفرها بازمیگردانند. همچنین، استفاده از این روش باعث صرفهجویی در فضا میشود؛ چون دیگر نیازی به استفاده از لولهها و پمپهای بزرگ نیست. اما یک مشکل وجود دارد: روش مادون قرمز گرمای شدیدی ایجاد میکند؛ اگر از سیستمهای تهویه مناسب استفاده نکنیم، ممکن است الکترونیکهای کنترلی سیستم خراب شوند. واقعیت کارخانههای تولید تراشه نمیتوانیم به سادگی از روش مادون قرمز در کارخانهها استفاده کنیم و انتظار داشته باشیم که از همان روز اول به خوبی کار کند؛ نیاز به تنظیماتی وجود دارد. روش گرمایش هوای داغ نسبتاً قابل اعتماد است، اما روش مادون قرمز متفاوت است؛ اگر زاویه لامپها کمی اشتباه باشد، نقاط گرم بر روی ویفرها ایجاد میشود. این یک کار دقیق است؛ ما سیستمهایمان را طوری طراحی میکنیم که بتوانیم زوایای لامپها را تنظیم کنیم و مطمئن شویم که گرما به طور یکنواخت در سراسر سطح ویفر پخش شود.