Pourquoi nous remplaçons les systèmes de chauffage par air chaud par un chauffage infrarouge dans les usines de semi-conducteurs Pensez à la manière dont fonctionne un four à convection classique : on chauffe l’air, et c’est cet air qui finit par chauffer la pâte semi-conductrice. C’est lent. Il y a ce temps d’attente agaçant pendant lequel on doit attendre que la température monte suffisamment. Dans une usine de semi-conducteurs, ce temps d’attente est vraiment gênant ; il ralentit considérablement le processus de production. C’est pourquoi nous commençons à remplacer ces systèmes volumineux par des systèmes de chauffage infrarouge, intégrés dans des boîtiers en acier inoxydable sur mesure. Éliminer l’intermédiaire L’avantage du chauffage infrarouge, c’est qu’il n’a pas besoin d’air pour transmettre la chaleur. Il utilise des ondes électromagnétiques pour chauffer directement le substrat. Plus besoin d’attendre que toute la chambre se réchauffe : c’est quasi instantané. Lorsque nous planifions un système, seul le temps nécessaire pour que celui-ci atteigne sa température de fonctionnement compte vraiment. Un four à convection peut mettre 20 minutes rien que pour se stabiliser. Un système de chauffage infrarouge, lui, atteint sa température en quelques secondes. En évitant de perdre du temps à attendre, on peut traiter beaucoup plus de plaques par shift. L’aspect technique Nous utilisons de l’acier inoxydable de haute qualité pour les boîtiers, car les contraintes thermiques sont très importantes. Mais ces boîtiers servent aussi de miroirs : leurs surfaces intérieures sont polies afin que tous les photons rebondissent vers la pièce à chauffer. Cela permet également d’économiser beaucoup d’espace, car on n’a plus besoin de tous ces conduits et ventilateurs volumineux. Mais il y a un inconvénient : les systèmes de chauffage infrarouge génèrent une chaleur intense et localisée. Si l’on sous-estime les besoins en ventilation ou si l’on choisit des ventilateurs insuffisants, cela peut endommager les composants électroniques. La réalité en milieu de production On ne peut pas simplement installer un système de chauffage infrarouge dans une ligne de production et s’attendre à ce qu’il fonctionne parfaitement dès le premier jour. Il faut ajuster certains paramètres. Le chauffage par convection est plutôt tolérant, mais le chauffage infrarouge est différent. Si la lampe n’est pas correctement positionnée, cela peut provoquer des points chauds sur la pâte semi-conductrice. C’est donc un travail de précision. Nous concevons nos systèmes de manière à pouvoir ajuster précisément l’angle des lampes, afin que la chaleur se répartisse uniformément sur toute la surface.