Chauffeur de wafer économe en énergie
Protéger les composants lors du chauffage des wafers près de produits chimiques volatils
Soyez honnêtes : placer des lampes infrarouges juste à côté...
Chauffage pour séchage de la tranche du capteur MEMS
Ne laissez pas une lampe endommagée ruiner toute votre production : comment maintenir les wafer MEMS propres
Dans une installation de grande capacité...
Capteur IR de précision pour wafer
Arrêtez de gaspiller votre énergie inutilement sur les parois de l’équipement. Il faut beaucoup d’énergie pour chauffer une pâte de silicium. Le...
Réflecteur pour lampe de durcissement de wafer
Arrêtez de laisser les lampes endommagées détruire vos wafers
Lorsque vous effectuez un processus de séchage des wafers à fort niveau de charge, une...
Capteur de température pour outil de wafer
Le problème : Maîtriser la chaleur dans les outils de traitement des wafers
Parlons des outils utilisés pour le traitement des wafers. Bien sûr, ils...
Distance de sécurité pour le chauffage de la wafer
Sur le poste de lithographie, cette distance de sécurité autour de la piste de chauffage n’est pas une zone de confort. C’est plutôt une limite...
Sécheur de wafers en infrarouge proche (NIR)
Sur la ligne de production de 300 mm, le séchage du photorésistant n’est pas simplement une étape thermique parmi d’autres. C’est plutôt une...
Lampe de séchage de wafer DNS (écran)
Sur le sol de lithographie, un dérive de 1°C dans le soft bake ou le hard bake n’est pas une « petite erreur ». C’est une perte de...