Arrêtez de laisser les lampes endommagées détruire vos wafers
Lorsque vous effectuez un processus de séchage des wafers à fort niveau de charge, une lampe qui tombe en panne n’est pas simplement source de problèmes ou d’arrêts de production temporaires. C’est un véritable cauchemar.
Si le tube en quartz explose, des éclats de verre et des dépôts d’halogène tombent directement sur le silicium. Un seul incident suffit pour que toute la batch soit gâchée. C’est une catastrophe immédiate en termes de contamination.
Nous avons trouvé un moyen d’éviter cela. Nous avons en fait créé un bouclier physique à l’intérieur du boîtier du réflecteur.
Comment fonctionne ce bouclier ?
Le réflecteur fait son travail habituel : il renvoie les rayons infrarouges vers les wafers, grâce à des revêtements en aluminium ou en or de haute pureté. Mais il fait aussi quelque chose de beaucoup plus important. En plaçant la lampe à l’intérieur de cette cavité réfléchissante, nous créons une barrière. Si le tube tombe en panne, le boîtier capture les éclats. Au lieu que des éclats de verre endommagent votre produit, vous avez affaire à un problème contrôlé. C’est bien mieux.
Gérer la chaleur
L’utilisation de ces lampes à pleine puissance génère une quantité impressionnante de chaleur. Nous avons modifié la géométrie du réflecteur afin que cette chaleur soit dirigée exactement là où elle doit aller : à la surface des wafers. Cela permet de réduire la chaleur inutile dans la chambre et d’accélérer le processus de séchage.
Mais il y a un problème : des points focaux trop précis exercent une pression supplémentaire sur les extrémités du tube. Il est donc nécessaire de s’assurer que les ventilateurs de refroidissement soient suffisamment puissants pour évacuer la chaleur des prises électriques. Sinon, vous risquez de voir la lampe tomber en panne prématurément.
Intégration dans votre ligne de production
Nous avons conçu ces lampes pour être utilisées comme pièces de rechange. Vous n’avez pas besoin de démonter tout votre équipement pour ajouter cet écran de protection. Le réflecteur se fixe directement sur le cadre, sans occuper de place supplémentaire. Lorsqu’un tube tombe en panne, il suffit de remplacer la lampe, de nettoyer rapidement le réflecteur, et de reprendre le travail. Ainsi, un incident catastrophique est transformé en simple tâche de maintenance de routine.