בתהליך האפייה של הפוטורזיסט, סטייה של חצי מעלה בטמפרטורה יכולה לגרום לכך שהממדים הקריטיים של השבב לא יעמדו בדרישות. תהליך איטי של ייבוש השבב מאריך את זמן העיבוד ופותח אפשרות לזיהום של השטח. לכן אנו משתמשים בחיממן שנמצא בחדר הנקי – כדי להפחית את השונויות בתהליך.
על מה אנו מבססים את העיצוב שלו
עיצבנו את החיממן כך שיתאים לדרישות התרמיות של תהליכי ייצור השבבים. אנו שומרים על אחידות טמפרטורה של ±0.1°C בכל שטח השבב, והאחידות נשמרת בזכות מעגל בקרה מדויק שמעקב אחר הטמפרטורה הרצויה. רכיב החימום הוא מסוג אינפרא-אדום, כך שהתגובה מהירה והחלוקה של החום אחידה. המעטפת של החיממן מתאימה לשימוש בחדרים נקיים – עם חיבורים סגורים, ללא פליטת חלקיקים – לסביבות מסוג Class 1–100. ההספק, המתח והממדים של החיממן תואמים את אלו של עגלות העיבוד הסטנדרטיות, כך שהשילוב שלו בתהליך אינו דורש עבודה נוספת.
איפה הוא מועיל
החיממן מתאים לתהליכים התרמיים השונים: ייבוש השבב, אפייה של הפוטורזיסט, חימום החומרים המשמשים לאריזת השבבים, וייבוש לאחר הניקוי. הייצוב המהיר של הטמפרטורה מונע את הצורך בזמן ארוך בתנור או על תשתית חמה, מבלי לפגוע באחידות הטמפרטורה. האחידות הגבוהה מפחיתה את הפגמים בשבבים ומשפרת את שיעור ההצלחה בייצור. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהחום מסופק בהתאם לצורך, ולא מתוך חדר גדול. זמן הפעולה של החיממן הוא הגורם החשוב ביותר – הוא יכול לפעול 24/7, עם תחזוקה שניתן לתכנן מראש.
הערות חשובות
מיקום החיממן חשוב מאוד. יש לוודא שזרימת האוויר תהיה בהתאם למיקום השבבים, ויש להשאיר מרווח לזרימת האוויר בחדר הנקי, כדי לא ליצור סחף של אוויר. במהלך ההתקנה, יש לוודא את מרחק המסילות וסוג החיבורים – חוסר התאמות קטנות עלולות לגרום לבעיות בתהליך. החיממן עובד כראוי בטמפרטורות של 22±2°C ולחות של 45±5%. אם הטמפרטורות יוצאות מהטווח הזה, השליטה התרמית נפגעת.