חיממן לחדרי ניקוי של חומרים מוליכים למחצה

בתהליך האפייה של הפוטורזיסט, סטייה של חצי מעלה בטמפרטורה יכולה לגרום לכך שהממדים הקריטיים של השבב לא יעמדו בדרישות. תהליך איטי של ייבוש השבב מאריך את...