בקו הייצור של 300 ממ, תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו רק שלב תרמי נוסף – זו בעצם הבטחה לשליטה בממדים. אם תהליך החימום יסט אפילו במעט מהטווח של...

על רצפת הליתוגרפיה, סטייה של 1°C בתהליך האפייה הרכה או האפייה הקשה אינה “שגיאה קטנה”. זו פגיעה בתפוקה, פשוטו כמשמעו. אתה רואה ופרים...