ओज़ोन रहित इन्फ्रारेड लैंप

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, सॉफ्ट बेक तापमान में आधा डिग्री का भी परिवर्तन, फोटोरेसिस्ट के आकार में नैनोमीटर स्तर पर परिवर्तन ला सकता है। यह केवल ऊष्मा...