लिथोग्राफी प्रक्रिया में, सॉफ्ट बेक तापमान में आधा डिग्री का भी परिवर्तन, फोटोरेसिस्ट के आकार में नैनोमीटर स्तर पर परिवर्तन ला सकता है। यह केवल ऊष्मा का ही प्रभाव नहीं है… यह तो एक नियंत्रण प्रक्रिया है।
सामान्य लैंपों से ओजोन उत्पन्न होता है, और यह ओजोन फोटोरेसिस्ट की गुणवत्ता को प्रभावित करता है, साथ ही कणों की संख्या में भी असामान्यताएँ आ जाती हैं। हम ओजोन-रहित इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं; इससे तापमान ठीक उसी स्तर पर रहता है, कोई आश्चर्य नहीं होता।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम तेज प्रतिक्रिया वाले शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं; इससे कुछ ही सेकंडों में स्थिर आउटपुट प्राप्त होता है। बेकिंग क्षेत्र में वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, और प्रत्येक बार प्रक्रिया का परिणाम समान ही रहता है।
क्वार्ट्ज से बने कवर एवं क्लीनरूम-अनुकूल सामग्रियों का उपयोग क्लास 1–100 वाले वातावरण में किया जाता है। लैंप चालू रहने के दौरान कोई गैस निकलती नहीं, और कोई कण भी नहीं उत्पन्न होता। ऊर्जा घनत्व को फोटोरेसिस्ट की आवश्यकताओं के अनुसार ही समायोजित किया जाता है; इससे तापीय विलंब कम हो जाता है, एवं किनारों पर भी कोई समस्या नहीं होती।
फोटोरेसिस्ट प्रसंस्करण में इसका क्या लाभ है?
“सॉफ्ट बेकिंग” का उद्देश्य विलायकों को हटाना एवं फिल्म पर दबाव डालना है। “हार्ड बेकिंग” का उद्देश्य एचिंग से पहले छवि को स्थिर रखना है। ओजोन-रहित इन्फ्रारेड लैंपों के उपयोग से लाइन-विड्थ पर नियंत्रण बना रहता है, दोष कम हो जाते हैं, एवं पुनर्प्रसंस्करण की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
यह सिस्टम 24/7 स्थिर आउटपुट के साथ काम करता है… एवं कंवेक्शन विधि की तुलना में कम ऊर्जा ही खर्च होती है, क्योंकि ऊष्मा सीधे फिल्म में ही जाती है, चैंबर में नहीं। इससे उत्पादन दर में वृद्धि होती है, एवं लैंपों की आयु भी लंबी हो जाती है।
व्यावहारिक बातें
लैंप का आउटपुट रेखीय होता है… इसलिए इंटीग्रेशन ज्यामिति को ऐसा ही रखना होता है कि बीम वेफर के मार्ग के साथ ही रहे। पास के ऑप्टिकल उपकरणों पर अतिरिक्त ऊष्मा न पड़े, इसके लिए परावर्तक उपकरणों का उपयोग किया जाता है।
जब उपकरण निष्क्रिय रहता है, तो तापीय संतुलन हेतु थोड़ा समय आवश्यक होता है… अपनी बेकिंग प्रक्रियाओं को इस समय के अनुसार ही तैयार करें। मौजूदा उपकरणों के साथ इसका संयोजन आसान है… लेकिन यांत्रिक संबंधों एवं ऊर्जा कनेक्शनों की जाँच अवश्य करें।