バイオセンサーを清潔に保つために：なぜIR加熱が重要なのか
クラス100のクリーンルームで作業したことがある人なら、その厳しさを知っているはずです。わずかなほこりや微細な粒子でさえも、センサーの表面を台無しにしてしまいます。本当に厄介です。実際、ほとんどの一般的な加熱要素がこの問題の原因です。それらはガスを放出したり、剥がれ落ちたりして、完璧なウェーハを台無しにしてしまいます。
だからこそ、私たちは高純度の融成石英製の赤外線ランプを使用しています。これにより、空気が常に清潔に保たれます。
「ほこり」との戦い
材料には種類があり、すべての石英が同じわけではありません。安価なチューブは、繰り返される加熱・冷却の過程で壊れやすくなります。そうすると、微細な粒子が発生し、作業面に付着してしまいます。
私たちは高純度の合成石英を使用しています。これにより、高温に耐えられます。また、ランプが工場を出る前に、表面の有機物を完全に除去します。最初の数回の製造工程で、製造油が基板に付着するのは避けたいものです。それは本当に厄介な問題です。
速度と温度
数マイクロメートルしかない層を扱う場合、時間が何よりも重要です。時間をかけすぎると、基板が過度に硬化し、センサーが機能しなくなってしまいます。
私たちの短波長赤外線ランプは、数秒で所定の温度に到達します。非常に速いのです。
しかし、出力については注意が必要です。高出力のチューブは大量の熱を発生させます。換気システムが十分でなければ、作業床の温度が不安定になってしまいます。バランスを取るのは難しいですが、うまくいけば、品質は驚くほど安定します。
設置と「寿命切れ」の問題
私たちは設置が簡単なランプを選びました。既存の治具に直接挿入できるので、加熱室全体を分解して作り直す必要はありません。
安定性を保つために、金メッキされたり、高耐熱性の合金を使ったコンタクトを使用しています。これにより、端子部分の酸化が防げ、クリーンルーム内での電気的なトラブルも起こりません。
そして、ランプには寿命があります。それは物理法則です。しかし、寿命が来たら、簡単に交換すれば済みます。チューブを交換すれば、再び作業を続けることができます。午後中を費やして装置全体を再調整する必要はありません。