シャードの発生を防ぐ：ウェーハをきれいに保ち、ドライヤーを安全に保つ
大量生産中に赤外線ランプが破損してしまったことがある人なら、それがどれほど厄介なことかわかるでしょう。一瞬前まではすべて正常だったのに、次の瞬間には石英の破片や金属製のフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。 これは完全な災害です。単に1枚のウェーハを失うだけでなく、二次的な汚染が起こり、一連の製品が台無しになってしまいます。私たちは、このような故障が起こる前に、それを防ぐ方法を長い時間をかけて研究してきました。
熱の問題への対処
ほとんどのランプが壊れる原因は2つです。1つは、特定の場所が過度に熱くなること、もう1つは急激な温度変化です。 これを解決するために、高純度の石英ガラスを使用し、高ワット数に耐えられるように壁厚を適切に調整しています。しかし、ガラスだけでは不十分です。実際に重要なのはデジタルコントローラーであり、電力の供給を適切に管理します。 こうすることで、急激な電力の変動を避け、ガラスが圧力で割れるのを防ぎます。 また、PID制御を用いて、温度が目標値を超えないようにします。これにより、フィラメントが正しい位置に保たれます。ただし、生産目標を達成するためにランプの出力を110％まで上げようとすると、ランプが早く壊れてしまいます。また、冷却用の空気の流れがランプの熱密度に合っていないと、熱が溜まってしまい、問題が発生します。
塵の侵入を防ぐ
目的は簡単です。ウェーハの上に何も落ちてはいけないのです。 そのために、物理的な遮蔽装置やしっかりとした取り付け方法を用いています。私たちのランプホルダーは、ランプを中央に固定し、振動を防ぎます。これは些細なことのように思えますが、ガラスがケースにこすれると微細な亀裂が生じます。このような微小な亀裂が、ランプが破壊される原因となります。 また、石英には特殊なコーティングを施しています。これにより、赤外線の波長が調整され、エネルギーがウェーハに当たり、ケースに当たらないようになります。ケースが過度に熱くなると、有機物質が漏れ出し、クリーンルームが汚染されてしまいます。これは良くありません。
面倒だが重要な作業
配線はしっかりと行われなければなりません。例外はありません。 端子でのアーク発生は故障の原因になるため、産業用のコネクタを使用しています。接続が緩んでいると、ホットスポットが発生し、その結果、ランプの端が溶けてしまいます。 定期的に配線をチェックすることをお勧めします。数分かかりますが、しっかりとした接続によって、安定した電力供給が維持され、ランプが壊れる可能性が大幅に減少します。