工具の内壁にエネルギーを無駄に使うのはやめましょう。
シリコンウェーハを加熱するには大量のエネルギーが必要です。問題は、一般的なIR装置ではその熱があちこちに散らばってしまうことです。結果として、エネルギーの大部分がウェーハではなく、工具の内壁に当たってしまいます。
要するに、装置の筐体が巨大なヒートシンクの役割を果たしてしまい、外側のケースが非常に高温になり、冷却システムに過度な負担がかかります。これは単純に無駄な行為です。
私たちがどのようにしてこの問題を解決するか
私たちは、熱がどこに行くかを正確に制御する方法を採用しています。全方位に光を放つランプの代わりに、フィルター付きの発光体や反射器を使用して、IRビームをウェーハに直接向けます。
これは、普通の電球から懐中電灯に切り替えるようなものです。角度を絞ることで、エネルギーを適切な場所に集中させることができます。そうすれば、熱は必要な場所にだけ行き、チャンバーの内壁に漏れ出ることはありません。
機械を操作する人々にとっても良いこと
内壁が余分な熱を吸収しなくなるため、作業員にとってもずっと安全になります。メンテナンス時に工具の外側に発生する「ホットスポット」の心配もなくなります。
私たちは、問題を隠すために壁に断熱材を貼るだけではありません。最初から熱が壁に当たらないようにしています。
しかし、デメリットもあります
ただし、熱が集中するため、ウェーハ上のフラックスは大幅に高くなります。そのため、温度上昇の速度は速くなりますが、温度制御装置にも少し負担がかかります。PID調整が不十分だと、目標温度を超えてしまう可能性があります。また、IRセンサーがランプの特定の波長に合わせて校正されているかも確認する必要があります。そうでないと、測定値が不正確になります。
良い点は、これらは既存の電源に接続するだけで使えるように設計されていることです。すぐに効果が感じられます。ウェーハの温度が素早く目標値に到達し、チャンバーの内壁も冷たく保たれます。