なぜセラミック製のエンドキャップがIRシステムにおいて重要なのか 半導体製造の世界では、ウェーハ上の熱勾配をどのように扱うかが、製品の歩留まりを決定づけます。適切な加熱を実現するために、私たちは赤外線発振器を使用しています。ここで重要なのはタングステンフィラメントですが、セラミック製のエンドキャッ...

アルミニウム反射板を使って、より多くの効果を得る方法 正直に言えば、半導体の乾燥や硬化処理にエネルギーを無駄にするのは、単なるお金の無駄です。ほとんどの場合、赤外線は機械の筐体内に漏れてしまい、何の役にも立ちません。だからこそ、アルミニウム反射板が使われるのです。この反射板は、余分な熱を捉えて再び...

工具の内壁にエネルギーを無駄に使うのはやめましょう。 シリコンウェーハを加熱するには大量のエネルギーが必要です。問題は、一般的なIR装置ではその熱があちこちに散らばってしまうことです。結果として、エネルギーの大部分がウェーハではなく、工具の内壁に当たってしまいます。 要するに、装置の筐体が巨大なヒ...