アルミニウム反射板を使って、より多くの効果を得る方法
正直に言えば、半導体の乾燥や硬化処理にエネルギーを無駄にするのは、単なるお金の無駄です。ほとんどの場合、赤外線は機械の筐体内に漏れてしまい、何の役にも立ちません。だからこそ、アルミニウム反射板が使われるのです。この反射板は、余分な熱を捉えて再び基板に戻すのです。
これはシンプルな方法ですが、これがIR硬化処理が現代のクリーンルームで「環境に優しい」と評価される理由です。有害な有機溶剤も不要で、エネルギーの無駄もありません。各サイクルごとの二酸化炭素排出量も大幅に減少します。
なぜアルミニウムなのか？
それは、その材料が赤外線をどのように扱うかによります。滑らかで光沢のあるアルミニウム表面は、光子の鏡のように機能します。つまり、光源のワット数を上げることなく、熱をワークピースに戻すのです。
ただし、条件が重要です。反射板が歪んでいたり、磨きが不十分だったりすると、ウェーハに低温部分ができてしまいます。そして、不均一な硬化処理は大変な問題です。
より賢く作業する
従来の乾燥方法では、部屋全体を温める対流式オーブンが使われますが、これは非常に非効率的です。IR硬化処理は異なり、周囲の空気ではなく、材料自体を直接加熱します。
短波長のIRランプと高品質のアルミニウム反射板を組み合わせることで、加熱時間がほぼゼロになります。瞬時に熱が得られます。本当に速いのです。そして、その速さによって、単位時間あたりの消費電力が減り、コストも削減されます。
現実的な注意点
しかし、「設定して忘れる」というわけにはいきません。定期的なメンテナンスが必要です。
アルミニウムは酸化しやすいです。特に高温になると、光沢のある表面が鈍くなります。光沢が失われると、反射率が下がり、硬化時間も長くなります。定期的に清掃したり、反射板を交換しなければ、生産効率が低下します。
また、温度にも注意が必要です。光源のワット数を高くしすぎると、十分な空気の流れがないと、筐体が過熱してしまいます。これはランプを壊す原因になります。必ず、冷却ファンの容量が適切であることを確認してください。