300mm 라인에서는 15초 소프트 베이크 온도가 2°C 편차만 발생해도 레지스트 라인폭 편차로 나타납니다. 노광은 한 번만 가능합니다. 우리는 빠른 반응 속도의 적외선 히터 전구를 제작하여 사이클마다 열 예산을 허용 범위 내에 유지합니다.
핵심 요소
쿼츠 인캡슐레이션 내에서 단파장 할로겐 소자를 구동하며, 빠른 복사 반응과 안정적인 복사율을 위해 선택했습니다. 반응 시간은 200ms 미만이며, 웨이퍼 표면 전체에서 ±0.1°C 내 온도 제어가 가능합니다. 설계는 Class 1–100 클린룸 환경에서 입자 발생 없이 작동하며, 출력은 5,000시간 이상 사용 시 5% 미만의 열화율로 안정적입니다.
포토레지스트 공정에서의 작동 원리
소프트 베이크, 하드 베이크, 프로시미티 베이킹 등 모든 공정에서 온도 균일성이 CD 균일성과 결함 밀도를 결정합니다. 빠른 반응 속도는 안정화 시간을 단축시키므로 균일성을 유지하면서 유휴 시간을 줄일 수 있습니다. 이로 인해 처리량 증가, 공정 허용 범위 개선, 스크랩 웨이퍼 감소 효과가 있습니다. 또한, 열을 저장하지 않고 필요 시 즉시 전달하기 때문에 에너지 소비도 줄어듭니다.
주의 사항
설치 허용 오차가 매우 타이트합니다. 전구는 반사경 형상 및 목표 거리와 정확히 정렬되어야 하며, 그렇지 않으면 과열 지점 및 균일성 편차가 발생합니다. 교체 전에는 장비 소켓, 전압, 장착 부품을 반드시 점검해야 합니다. 표준 인터페이스를 지원하지만, 구형 베이크 플레이트는 맞춤형 고정구가 필요할 수 있습니다. 성능 유지를 위해 반사경은 2,000시간마다 점검하는 계획이 요구됩니다.