심부 자외선(DUV) 리지스트 경화 램프
리소그래피 공정에서는 빠르게 학습해야 합니다. 약간의 오차라도 발생하면, 그로 인해 생산 효율에 큰 영향을 미칠 수 있습니다. 반도 정도의 오차만으로도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 불순물이 존재하면 양질의 웨이퍼도 순식간에 버려지게 됩니다. DUV 리조스트 건...
드라이 필름 리젝트 코팅 히터
리소그래피 공정에서 라미네이팅 히터는 단순히 열을 가하는 역할만 하는 것이 아닙니다. 이 히터는 전체 포토레지스트의 온도를 조절하는 핵심 요소입니다. 소프트 베이크 과정에서 0.5°C라는 미세한 온도 변화가 생기면, 점도나 에지 비드 현상, 그리고 치명적인 치수 제어...