웨이퍼용 정밀 IR 센서

도구의 벽면에 에너지를 낭비하지 마세요. 실리콘 웨이퍼를 가열하는 데는 엄청난 양의 에너지가 필요합니다. 문제는 대부분의 일반적인 적외선 장비들이 그 열을 사방으로 방출한다는 점입니다. 그래서 에너지의 상당 부분이 웨이퍼가 아닌 도구의 내벽에 전달됩니다. 결국, 장비...