도구의 벽면에 에너지를 낭비하지 마세요.
실리콘 웨이퍼를 가열하는 데는 엄청난 양의 에너지가 필요합니다. 문제는 대부분의 일반적인 적외선 장비들이 그 열을 사방으로 방출한다는 점입니다. 그래서 에너지의 상당 부분이 웨이퍼가 아닌 도구의 내벽에 전달됩니다.
결국, 장비의 케이스가 거대한 열 흡수체가 되어버리는 것입니다. 이로 인해 외부 케이스가 너무 뜨거워져서 작업자가 다칠 수 있으며, 냉각 시스템도 불필요하게 과도하게 작동해야 합니다. 정말 낭비적인 일입니다.
우리가 이 문제를 해결하는 방법
우리는 열이 어디로 가는지를 정확하게 제어함으로써 이 문제를 해결합니다. 모든 방향으로 빛을 발하는 램프 대신, 필터와 반사판을 사용하여 적외선을 웨이퍼 쪽으로 집중시킵니다.
마치 일반 전구 대신 손전등을 사용하는 것과 같습니다. 각도를 좁혀서 에너지를 특정 방향으로만 보내면 됩니다. 그러면 열은 필요한 곳에만 가고, 챔버의 벽면으로는 퍼지지 않습니다.
기계를 조작하는 사람들에게도 좋습니다
벽면이 과도한 열을 흡수하지 않으면, 작업자들에게 훨씬 안전해집니다. 유지보수 중에 도구의 외부에서 갑작스럽게 발생할 수 있는 “고온 지점”에 대해 걱정할 필요가 없습니다.
우리는 단순히 벽면에 절연재를 붙여서 문제를 숨기는 것이 아니라, 애초에 열이 벽면에 닿지 않도록 설계합니다.
단점도 있습니다
물론 단점도 있습니다. 열이 너무 집중되기 때문에 웨이퍼 위의 열량도 매우 높아집니다. 그 결과, 웨이퍼가 목표 온도에 도달하는 데 걸리는 시간은 줄어듭니다. 하지만 이로 인해 온도 조절 장치에 더 많은 부담이 가해집니다. PID 설정이 제대로 되어 있지 않으면 목표 온도를 초과할 수도 있습니다. 또한 적외선 센서가 램프의 파장에 맞게 정밀하게 조정되어 있는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 측정值가 정확하지 않을 수 있습니다.
좋은 소식은, 이러한 장비들은 기존의 전원 공급 장치에 그대로 연결해서 사용할 수 있다는 것입니다. 즉시 차이를 느낄 수 있습니다. 웨이퍼가 목표 온도에 빠르게 도달하고, 챔버의 벽면도 여전히 시원하게 유지됩니다.