진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터

진공 상태에서의 적절한 열 공급 방법 반도체를 생산할 때는 엄청난 양의 열이 필요하지만, 웨이퍼가 오염되는 것은 절대 용납될 수 없습니다. 일반적인 저항식 히터로는 이러한 요구를 충족시킬 수 없습니다. 그래서 우리는 진공 환경에 적합한 적외선 램프를 사용합니다. 이...