
Het schoonhouden van je biosensoren: waarom infraroodverwarming belangrijk is
Als je ooit tijd hebt doorgebracht in een klasse-100 schone ruimte, weet je hoe het gaat. Eén klein stofdeeltje – één enkele korreltje materiaal – en de hele oppervlakte van je sensor is verwoest. Dat is frustrerend. En eerlijk gezegd? De meeste standaardverwarmingselementen zijn de oorzaak. Ze geven gassen af, ze breken af en ze beschadigen de perfect goede wafer.
Daarom gebruiken we infraroodlampen gemaakt van hoogzuiver gefuseerd kwarts. Hierdoor blijft de lucht schoon.
De strijd tegen stof
Het probleem met materialen is dat niet alle kwarts gelijk is. Goedkope buizen gaan vaak kapot wanneer ze voortdurend worden opgewarmd en afgekoeld. Ze beginnen stof af te scheiden, waardoor microscopische deeltjes op je werkoppervlak terechtkomen.
Wij gebruiken hoogzuiver synthetisch kwarts, omdat dit materiaal de hitte kan verdragen zonder te breken. Bovendien halen we al het organische vuil van het oppervlak voordat de lampen onze fabriek verlaten. Je wilt immers niet dat er olieën op je substraat terechtkomen. Dat is geen prettig scenario.
Snelheid en warmte
Wanneer je te maken hebt met lagen die slechts een paar micrometer dik zijn, is tijd cruciaal. Als je te lang wacht, wordt het substraat te veel verhit en sterft de sensor af.
Onze kortgolflampen bereiken de gewenste temperatuur in seconden. Het is echt snel.
Maar je moet wel goed opletten met de vermogensterkte. Een lamp met hoge vermogensproductie produceert veel warmte. Als je ventilatie niet goed genoeg is, zal de temperatuur onstabiel worden. Het vereist wat balans, maar eenmaal dat voor elkaar, is de consistentie uitstekend.
Instellingen en het probleem van ‘branden’
We hebben geprobeerd om de lampen zo compact mogelijk te maken. Je kunt ze gemakkelijk in je bestaande apparaten plaatsen, zonder dat je de hele verwarmer hoeft uit elkaar te halen.
Om alles stabiel te houden, gebruiken we contactpunten die verguld zijn of gemaakt zijn van hittebestendige legeringen. Dit voorkomt oxidatie aan de contactpunten, waardoor er geen elektrische storingen optreden in je schone ruimte.
En ja, lampen branden uiteindelijk door. Dat is gewoon wetenschap. Maar wanneer dat gebeurt, zijn deze lampen gemakkelijk vervangbaar. Je hoeft alleen de lamp te vervangen en weer aan het werk te gaan – zonder dat je een hele middag nodig hebt om de hele installatie opnieuw in te stellen.