Por que estamos substituindo os sistemas de aquecimento por ar quente por sistemas de aquecimento por infravermelhos nas fábricas de semicondutores Pense em como funciona um forno convencional: você aquece o ar, e esse ar, por sua vez, aquece as placas de silício. É um processo lento. Há um tempo de espera incômodo, enquanto se espera que a temperatura atinja o nível desejado. Nas fábricas de semicondutores, esse tempo de espera é um grande problema, pois reduz drasticamente a produtividade. É por isso que começamos a substituir esses sistemas de aquecimento por ar quente por sistemas de aquecimento por infravermelhos, que são instalados em estruturas de aço inoxidável personalizadas. Sem necessidade de intermediários A vantagem dos sistemas de aquecimento por infravermelhos é que eles não precisam de ar para transmitir o calor. Eles utilizam ondas eletromagnéticas para aquecer diretamente o substrato. Não há mais necessidade de esperar que toda a câmara se aqueça – o processo é quase instantâneo. Ao planejar um sistema, o único fator importante é o tempo necessário para que ele esteja pronto para funcionar. Um forno convencional pode levar até 20 minutos para se estabilizar. Já um sistema de aquecimento por infravermelhos consegue aquecer o objetivo em segundos. Ao eliminar o tempo gasto esperando pelo aquecimento, é possível processar muito mais placas de silício a cada turno. O lado técnico Usamos aço inoxidável de alta qualidade para as estruturas, pois o esforço térmico é enorme. Mas a estrutura serve também como espelho: suas superfícies internas são polidas para que os fótons reflitam de volta para a peça a ser aquecida. Além disso, o tamanho das estruturas é uma vantagem importante: não há mais necessidade de dutos e ventiladores enormes, o que libera bastante espaço no chão da fábrica. Mas há um detalhe importante: os sistemas de aquecimento por infravermelhos geram calor intenso e localizado. Se a ventilação não for adequada ou se os ventiladores forem insuficientes, os componentes eletrônicos podem ser danificados. A realidade na fábrica Não é possível simplesmente colocar um sistema de aquecimento por infravermelhos em operação no primeiro dia. É preciso fazer alguns ajustes. Os sistemas de aquecimento por ar quente são mais tolerantes a pequenos erros, mas os sistemas de aquecimento por infravermelhos são diferentes. Se a posição da lâmpada estiver errada, mesmo que seja apenas alguns milímetros, haverá pontos quentes na placa de silício. É preciso ter precisão ao ajustar os ângulos das lâmpadas, para que o calor se distribua uniformemente pela superfície inteira.