Como evitar problemas: Lidando com a contaminação por partículas em sistemas de aquecimento UHP Em um ambiente de alto consumo energético, a quebra...

Parando o pesadelo causado por lâmpadas infravermelhas queimadas Em uma fábrica de semicondutores, o funcionamento inadequado de uma lâmpada...

Manter sua câmara limpa de classe 100 realmente limpa Se você está secando wafers de sensores MEMS, certamente conhece o problema: uma única...

Mantendo tudo seguro ao aquecer wafers perto de substâncias químicas voláteis Sejamos honestos: colocar lâmpadas infravermelhas bem ao lado de...

Não deixe que uma lâmpada quebrada estrague todo o seu lote: Mantendo as pastilhas MEMS limpas Em um sistema de produção em larga escala de MEMS, uma...

Pare de desperdiçar energia com as paredes do equipamento Aquecer uma placa de silício requer muita energia. O problema é que a maioria dos sistemas...

Pare de deixar lâmpadas queimadas destruírem seus wafers! Quando se trata de processos de cura de wafers sob alta carga, uma lâmpada queimada não é...

O problema: Como controlar o calor nas ferramentas de processamento de wafers Vamos falar sobre as ferramentas utilizadas no processamento de wafers....

No ambiente de litografia, essa distância de segurança em torno do wafer durante o processo de aquecimento não é uma “zona de conforto”. Trata-se, na...

No piso de litografia, uma variação de 1°C no soft bake ou hard bake não é um “pequeno erro”. É uma perda de rendimento, pura e simples....