Перестаньте тратить энергию впустую на нагрев стенок устройства
Для нагрева кремниевой пластины требуется огромное количество энергии. Проблема в том, что большая часть этой энергии расходуется на нагрев внутренних стенок устройства, а не самой пластины. По сути, корпус устройства превращается в огромный резистор тепла. Это приводит к тому, что внешняя оболочка устройства становится слишком горячей, что может повредить оператора. Кроме того, это заставляет системы охлаждения работать гораздо интенсивнее, чем это необходимо. Это просто трата ресурсов.
Как мы решаем эту проблему
Мы контролируем направление распространения тепла. Вместо лампы, излучающей свет во все стороны, мы используем фильтры и отражатели, чтобы направить инфракрасные лучи прямо на пластину. Это похоже на замену обычной лампочки на фонарик – таким образом энергия тратится более эффективно. Тепло попадает туда, где его нужно, и не распространяется по стенкам камеры.
Это полезно для операторов устройства
Когда стенки камеры не поглощают лишнее тепло, ситуация становится гораздо безопаснее для персонала. Не нужно беспокоиться о возможных «горячих точках» на внешней поверхности устройства, которые могут помешать техникам во время обслуживания.
Мы не просто заклеиваем стенки изоляционным материалом, чтобы скрыть проблему. Мы делаем так, чтобы тепло вообще не достигало стенок камеры.
Есть недостатки (ведь ничего не бывает идеально)
У этого решения есть недостатки. Поскольку тепло сосредотачивается в одной точке, интенсивность нагрева на пластине значительно повышается. Это хорошо с точки зрения времени нагрева, но это также создает дополнительную нагрузку на системы контроля температуры. Если настройки PID не будут правильными, температура может превысить заданный уровень. Также необходимо убедиться, что датчики инфракрасного излучения настроены на конкретную длину волны лампы; иначе показания будут неточными.
Хорошая новость заключается в том, что эти устройства можно использовать в качестве замены существующим. Достаточно подключить их к существующему источнику питания – и всё будет в порядке. Вы сразу заметите разницу: пластина нагревается быстрее, а стенки камеры остаются прохладными.