Почему стоит перестать ждать? Инфракрасное нагревание в процессе полупроводниковой обработки Если вы работали с процессами глубокой обработки полупроводников, вы знаете, как это бывает при использовании систем с принудительным циркуляцией воздуха. Нужно включить устройство и ждать, пока воздух нагреется. По сути, это означает нагрев огромного объема воздуха лишь для того, чтобы поверхность детали достигла нужной температуры. Этот процесс медленный и утомительный. Инфракрасные лампы меняют ситуацию. Вместо нагрева воздуха они направляют энергию прямо на поверхность детали. Процесс ожидания заканчивается. Стоит задуматься о тепловой инерции систем с принудительным циркуляцией воздуха. Чтобы воздух начал циркулировать и стабилизироваться, требуется много времени. На производстве с высокой производительностью эти минуты крайне нежелательны – они приводят к значительным потерям. Когда мы используем инфракрасные лампы, время нагрева сокращается на 70–90%. Речь идет о секундах, а не о минутах. Это позволяет сократить площадь помещения, увеличить производительность и избавиться от необходимости постоянно смотреть на таймер. Но есть один недостаток – озон. Стандартные инфракрасные лампы могут выделять световые волны длиной менее 200 нм, что приводит к образованию озона. В закрытых помещениях или чистых комнатах это серьезная проблема. Озон разрушает органические материалы и корродирует саму схему, которую мы пытаемся создать. Чтобы решить эту проблему, мы используем специальные кварцевые оболочки и внутренние фильтры. Они блокируют вредные УФ-волны. Таким образом сохраняется высокая интенсивность нагрева, но без образования озона. Честно говоря, инфракрасные лампы – это не волшебная палочка. У них есть свои особенности. Поскольку инфракрасное излучение имеет направленный характер, необходимо обеспечить чистую линию видимости. Если у детали есть глубокие углубления или сложная форма, возникают «холодные зоны». Нельзя просто поместить лампу в старую печь и ждать результата. Необходимо точно регулировать угол направления излучения, чтобы все нагревалось равномерно. Еще один недостаток – очень высокая плотность мощности. Если нет надежного теплоотвода или хорошего вентилятора для охлаждения лампы, корпус устройства может быть поврежден. Но все эти трудности оправданы высокой скоростью обработки.