ในกระบวนการผลิตที่มีความแม่นยำสูง ขั้นตอนการอบฟิล์มโฟโตรีซิสต์ไม่ใช่เพียงขั้นตอนทางความร้อนธรรมดาๆ เท่านั้น แต่เป็นขั้นตอนที่มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อความแม่นยำของขนาดชิ้นส่วนที่ผลิตออกมา หากอุณหภูมิในขั้นตอนการอบเพิ่มขึ้นหรือลดลงแม้เพียงเล็กน้อย ก็จะส่งผลให้ความแม่นยำของขนาดชิ้นส่วนลดลงได้ โดยเครื่องอบแบบดั้งเดิมมักมีปัญหาเรื่องความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ขอบแผ่นวีเวอร์ ส่วนเตาอบแบบกระแสลมก็อาจทำให้มีฝุ่นละอองเข้ามาในกระบวนการผลิตได้ ในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 การเกิดฝุ่นละอองหรือการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิดไม่ใช่เรื่องเล็กๆ เพราะมันอาจส่งผลให้เสียชิ้นส่วนที่ผลิตออกมาไปทั้งหมด
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราออกแบบเครื่องอบวีเวอร์แบบ NIR โดยใช้รังสีอินฟราเรดใกล้แสงอาทิตย์ ซึ่งช่วยให้เกิดการให้ความร้อนแบบตรงไปตรงมา โดยไม่มีกระแสลมเข้ามาเกี่ยวข้องเลย ผลลัพธ์คือความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ระดับ ±0.1°C ตลอดกระบวนการผลิต และอุณหภูมิของฟิล์มโฟโตรีซิสต์ก็จะอยู่ในระดับที่กำหนดไว้ภายในเวลาเพียงไม่กี่วินาที การไม่มีกระแสลมหมายความว่าจะไม่มีฝุ่นละอองเกิดขึ้น ห้องอบมีโครงสร้างที่แน่นหนา ดังนั้นสิ่งเดียวที่สัมผัสกับวีเวอร์ก็คือวีเวอร์เองเท่านั้น
เครื่องนี้ถูกออกแบบมาให้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยชิ้นส่วนต่างๆ ถูกออกแบบมาให้สามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่อง และโครงสร้างทางความร้อนก็ช่วยให้มีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้ตลอดหลายพันครั้งของการทำงาน ความสามารถในการทำงานในห้องสะอาดก็ถูกออกแบบมาให้รองรับได้โดยตรง โดยไม่ต้องมีการปรับแต่งเพิ่มเติม ห้องอบมีโครงสร้างที่แน่นหนา และมีความสามารถในการป้องกันฝุ่นละอองได้ดี
ทำไมสิ่งนี้ถึงมีความสำคัญในกระบวนการลิโธกราฟี ในกระบวนการลิโธกราฟี ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อความแม่นยำของขนาดชิ้นส่วนที่ผลิตออกมา เครื่องอบแบบ NIR ช่วยลดเวลาในการให้ความร้อน ลดการใช้พลังงาน และขจัดความแปรปรวนที่เกิดจากการกระจายความร้อนในเตาอบ ดังนั้นจึงทำให้ได้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ดีขึ้น ลดการต้องทำงานซ้ำ และทำให้กระบวนการผลิตมีความแม่นยำมากขึ้น
การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะพลังงานถูกนำไปใช้กับวีเวอร์โดยตรง ไม่ใช่การใช้พลังงานเพื่อให้ความร้อนกับอากาศหรืออุปกรณ์อื่นๆ ช่วงเวลาการบำรุงรักษาก็ยาวนานขึ้น เพราะมีชิ้นส่วนที่เสื่อมสภาพได้น้อยลง และช่วงเวลาการทำงานก็ยาวนานขึ้น เพราะความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไม่ใช่ปัญหาอีกต่อไป
สิ่งที่คุณต้องวางแผนไว้ เครื่องอบแบบ NIR ต้องมีการมองเห็นพื้นผิววีเวอร์ได้โดยตรง ดังนั้นการจัดวางเครื่องจึงต้องมีการออกแบบให้เส้นทางแสงไม่ถูกบังภายในห้องอบ หากต้องการนำเครื่องนี้มาใช้ร่วมกับระบบที่มีอยู่ ก็ต้องให้ความสำคัญกับโครงสร้างทางกลและโปรโตคอลการสื่อสารตั้งแต่เริ่มต้น เราจะให้ข้อมูลเกี่ยวกับอินเทอร์เฟซตั้งแต่เนิ่นๆ เพื่อให้คุณไม่ต้องเจอปัญหาในขั้นตอนการติดตั้ง
ในขั้นตอนการทดสอบเบื้องต้น คาดว่าจะต้องมีการอบวีเวอร์เป็นเวลาสั้นๆ เพื่อปรับแต่งพารามิเตอร์ของฟิล์มโฟโตรีซิสต์ หลังจากนั้นกระบวนการผลิตก็จะมีความสม่ำเสมอ และสามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่องได้ทุกวัน ทุกชุดชิ้นส่วนที่ผลิตออกมา