การลดระยะเวลาในกระบวนการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ โดยใช้ระบบ IR ที่ไม่มีก๊าซโอโซน แทนการใช้ระบบการถ่ายเทอากาศด้วยแรงดัน