ในกระบวนการลิโทกราฟี แม้ว่าอุณหภูมิการอบจะเปลี่ยนแปลงเพียงครึ่งองศาเดียว ก็สามารถทำให้ขนาดสำคัญของชิ้นส่วนเปลี่ยนแปลงไปได้ถึงระดับนาโนเมตร นี่ไม่ใช่เรื่องของความร้อนเพียงอย่างเดียว แต่เป็นเรื่องของการควบคุมอย่างแท้จริง
หลอดไฟมาตรฐานอาจก่อให้เกิดโอโซนได้ และโอโซนนี้จะส่งผลให้คุณสมบัติของสารเคลือบฟิล์มเปลี่ยนแปลงไป รวมถึงทำให้จำนวนอนุภาคเปลี่ยนแปลงไปด้วย เราจึงใช้แสงอินฟราเรดที่ปราศจากโอโซน เพื่อให้อุณหภูมิคงที่ตามที่ตั้งไว้ ไม่มีปัญหาใดๆ เกิดขึ้น
สิ่งที่สำคัญในการทำงาน เราใช้หลอดไฟอินฟราเรดคลื่นสั้นที่มีความสามารถตอบสนองได้รวดเร็ว ทำให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างมั่นคงภายในไม่กี่วินาที ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในบริเวณที่อบอยู่ที่ ±0.1°C และความสม่ำเสมอในการทำงานก็ยังคงอยู่ในระดับที่ดี
ตัวหลอดไฟทำจากควอตซ์ และวัสดุที่เหมาะสมสำหรับห้องสะอาด ทำให้ไม่มีก๊าซหรืออนุภาคใดๆ ออกมาขณะที่หลอดไฟกำลังทำงาน ความหนาแน่นของพลังงานถูกปรับให้เหมาะสมกับคุณสมบัติของสารเคลือบฟิล์ม และสเปกตรัมของแสงก็ถูกปรับให้เหมาะสมกับความสามารถในการดูดซับของสารเคลือบฟิล์ม ทำให้ไม่มีปัญหาเรื่องความล่าช้าของอุณหภูมิหรือผลกระทบที่เกิดขึ้นที่ขอบฟิล์ม
เหตุใดสิ่งนี้จึงมีความสำคัญในกระบวนการเคลือบฟิล์ม การอบด้วยความร้อนต่ำช่วยให้สารละลายแห้งได้ และช่วยให้ฟิล์มมีความตึงเครียดที่เหมาะสม ส่วนการอบด้วยความร้อนสูงช่วยให้ภาพที่เกิดขึ้นมีความมั่นคงก่อนการขัดฟิล์ม การใช้แสงอินฟราเรดที่ปราศจากโอโซนช่วยให้สามารถควบคุมความกว้างของเส้นได้อย่างแม่นยำ ลดข้อบกพร่องต่างๆ และลดความจำเป็นในการทำงานซ้ำ
ระบบนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยมีอุณหภูมิที่คงที่ และใช้พลังงานน้อยกว่าการใช้ความร้อนแบบปกติ เพราะความร้อนจะถูกส่งตรงเข้าไปในฟิล์ม ไม่ใช่เข้าไปในห้องทำงาน ทำให้สามารถเพิ่มอัตราการผลิตได้โดยไม่ส่งผลต่อประสิทธิภาพ และอายุการใช้งานของหลอดไฟก็ยาวนาน ทำให้สามารถใช้งานได้เป็นเวลานานโดยมีการบำรุงรักษาที่สามารถคาดเดาได้
ข้อควรระวังในการใช้งาน แสงที่ออกมาจากหลอดไฟจะเดินทางในแนวเส้นตรง ดังนั้นโครงสร้างของอุปกรณ์จึงต้องถูกออกแบบให้แสงสามารถเดินทางไปตามเส้นทางของ Wafer ได้ ควรใช้อุปกรณ์สะท้อนแสงเพื่อป้องกันไม่ให้ความร้อนไปรบกวนอุปกรณ์อื่นๆ
เมื่อหลอดไฟหยุดทำงานชั่วคราว จะมีเวลาสั้นๆ สำหรับการปรับอุณหภูมิให้คงที่ ควรวางแผนการอบไว้ตามเวลานั้น การใช้งานร่วมกับอุปกรณ์อื่นๆ ก็ทำได้ง่าย แต่ควรตรวจสอบระยะห่างทางกลและการเชื่อมต่อพลังงานกับทีมงานด้านอุปกรณ์ด้วย